电子束是一种极具能量的电子束流，具有小直径，高密度和精确调控性等独特优势。在微电子领域中，电子束传统应用是微纳加工领域，如微电子线路板、微光阑作用器件等。目前，电子束技术正在不断改进和发展，主要体现在以下三个方面:
1.电子束刻蚀技术：在微纳加工领域中，电子束刻蚀是一项核心技术。其优点是可以对目标材料表面进行高度精密的切割，同时还能应用于芯片设计中。
2.电子束显微技术：电子束显微技术是电子束技术在材料科学、纳米领域的核心应用。具有分辨率高、数据精确等优点，可以广泛应用于纳米材料与器件研制、生物医学领域研究等方面。
3.电子束激光技术：最新的电子束技术进展是电子束激光技术。它可以在材料表面进行高能量脉冲激光辐照，从而生成纳米结构和材料。这项技术的优势在于生成复杂结构或在不同材料间生成复合材料的移植，可广泛应用于高分子材料、光学、生物医学领域等。
